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    公开号:WO1980001002A1
    申请号:PCT/JP1979/000271
    申请日:1979-10-25
    公开日:1980-05-15
    发明作者:K Mita；M Nakashima；K Fujihara；T Nakakuki；T Yoshida；M Oyama
    申请人:Fujitsu Ltd；K Mita；M Nakashima；K Fujihara；T Nakakuki；T Yoshida；M Oyama；
    IPC主号:G06T7-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] 発明の名称
    [0003] ハ。 タ ーン検査方式
    [0004] 技術分野
    [0005] 本発明は基板上に形成されたハ。ター ンを検査す.る ノタター ン検査方式に関する。
    [0006] 本発明は、 電子回路用のプ リ ン ト 板の製造に用い られる フ ォ ト マ ス ク の ハ°タ 一 ンを検査する場合に用 い られる。
    [0007] 背景技術
    [0008] 従来、 フ ォ ト マスク におけるハ0ター ンを検査する 方法の一つと して、 顕微鏡を用いて検査されるべ ハ。タ ー ンを基準ハ。 タ ー ン と比較する方法があるが、 こ の方法ではハ。ター ン の幅を測長する こと ができず、 かつ、 2 つのハ。タ ー ンを位置合わせする工程を必要 とする とい う問題点がある。 こ の従来形は例えばケ ィ . レ グイ の論文 w Automated Equipment for 1 0 0 Inspection of Photomasks " ， ソ リ ッ ド ス テ ィ ト テ ク ノ ロ ジィ 頁 6 0〜 7 1 ， 1 9 7 8年 5 月号 ， に記 載されている。 .
    [0009] ま た、 従来、 フ ォ ト マ ス ク におけるハ0ター ンを検 査する方法の他の一つと して、 検査されるべき ハ°タ ー ン を光で走査 し電気信号に変換したハ。ターンデ一 タ を フ ォ ト マ ス ク の設計デー タ を変換 して得た基準
    [0010] OMPI ハ0ター ンデータ と比較する こ と によ ハ0ター ンの検 査を行 う 方法があるが、 この方 では 2つのデータ . のア ド レ ス の位置合せを行 う必要があ 、 オ リ ヅナ ルの設計データ を用意する必要があ ！？、 ま た、 設計 データの変換のために高速動作の電 計算機を用意 する必要がある と い う問題点がある。 この従来形は 例えばエ フ · 'クー · ォキャ ラ ハ ンほかの論文
    [0011] Automatic Mask Inspection for Registration
    [0012] Errors and Critical Dimensions " ， 写真禾斗学技術者 協会シ ン ポ ジ ウ ム ， 1 9 7 5年 2 ， に記載されて いる。 · '
    [0013] 本発明は、 前述の従来形における問題点を解決し、 基準ハ。ターンデータを用いる こ とのない正確で実用 的 フ ォ ト マス ク のハ。ター ン検査方式を提供するた めに提案されたものである。
    [0014] 本発明者 （ 複数 ） の一部に よ ！） 発明されたハ。タ ー ン検查方式に関する先行発明が日本特許出願公開昭 5 3 - 2 4 2 3 3 に開示されている。 この方式は、 被検査試料のハ。 タ 一 ン上を光ビー ム によ 1) 走査させ る光走査系と被検査試料か らの透過光または反射光 を検知して走査方向のハ。 'ターン幅を示す情報を 出力 する手段と ハ。タ ー ンェ ッ ヅに生 じる回折光を検出 し て走査方向に対する ハ。タ ー ンの角度を.示す情報を出 力する手段を具備し、 前記ハ。ターン幅を示す情報と
    [0015] ΟΜΡΙ IPO 前記ハ。 タ ー ン角度を示す情報を結合 し、 それに よ ハ0ター ン線幅を測定する、 ハ。ター ン検査方式である 本発明は この先行発明の技術を利用 している。
    [0016] 発明の開示
    [0017] 本発明は被検査試料のハ。ター ンを複数の角度方向 に分離して読出す手段と、 こ ©読出されたハ。ター ン 情報を各角度方向に分離して記憶する複数の記憶領 域を有する記憶手段を用いる とい う着想に基礎をお い てい る 。
    [0018] 本発明の主 目的は、 前述の従来形における問題 点を解決 し、 位置合せを行う 必要が ¾ く 、 オ リ' 'クナ ル デー タ を用意する必要がな く、 高速動作の電子計 一算機を用 ¾する必要がな く 、 ハ。タ ー ン検査を迅速か つ正確に行う こ とができ る実用性のある シ ス テ ムを 提供する こ と にあ る。
    [0019] 本'発明の 目的の他の一つは、 ハ。ター ン異常の種々 の形態に対応でき る検査を行 うための各種の検査シ ス テ ムを提供する こ とにある。
    [0020] 図面の簡単な説明 - 第 1 図は本発明の一実施例と してのハ。ター ン検査. シ ス テ ムを示す図、
    [0021] 第..2 図は第 1 図における光信号検出部の詳細を示 す図、
    [0022] 第 3 図は第 1 図におけるハ。ター ン幅測長部の詳細
    [0023] ΟΜΡΪ 鶴 を示す図、
    [0024] 第 4図は本発明によ るハ。ター ン検査の対象物と ¾ る フ ォ ト マ ス ク の一例を示す図、
    [0025] 第 5 図は第 1 〜 3 図における メ モ リ 部の記憶状態 の一例を示す図、
    [0026] 第 6 図は本発明に よ るハ。ター ン検査シ ス テ ム に適 用される補間回路を示す図、
    [0027] 第 7 図は本発明に よるハ。ター ン検査シ ス テ ム に適 用される ハ。ター ンデータ切換回路を示す図、
    [0028] 第 8 ·図は本発明によ るハ° タ ー ン検査シ ス テ ム に適 用される ハ。タ ー ン縮少回路を示す図、
    [0029] 第 9 図は第 8 図の回路 詳細を説明する図、 ― 第 1 0 図は本発明に よ るハ0 タ ー ン検査シ ス テ ム に 適用される黒点 · ピ ン ホ ー ル除去回路を示す図であ る。 .
    [0030] 発明'を実施するための最良の形態
    [0031] 第 1 〜 3 図に本発明の 1 実施例と してのフ ォ ト マ ス ク の ハ0 タ ー ン検査シ ス テ ムを示す。
    [0032] 第 1 に、 ハ。ター ン縁の方向の角度を検出するプロ セ ス を記述する 。 レー ザ光源 3 よ ] の レー ザ ビー ム . をガ ル バ ノ ミ ラ一 4 の よ う 光偏向手段によ ] 周期 的に主走査方向に偏向させて走査レ ン ズ 5 を通 して、 所定の副走査方向に移動するス テージ 7 に.载置され たフ ォ ト マ ス ク 1 上に投射する。 フ ォ ト マ ス ク 1 の
    [0033] OMPI WIPO 1 部の平面図の l fljが第 4図に示される。 フ ォ ト マ ス ク 1 はラ ン ド部分 l a l およ びリ 一 ド部分 l a 2か ら成るハ0 タ ー ン l a を有する。 フ ォ ト マ ス ク 1 を透 過した レー ザ ビー ムは集光レ ン ズ 8 を通 ]9 ヽ ハ0 タ ー ン l a の縁の方向 と 走査方向 SCANとの角度なを検出 する角度検 ¾用検出器 1 0 に入射される。 レー ザ ビ — ムがハ。タ ー ン縁を通過 したと き.、 ハ。 タ ー ン縁に直 角方向すなわちハ。 タ ー ン縁に沿 う方向 と直角；の方向 に光が回折する現象が生 じるの でその回折方向に配 置された角度検出用光検出器 1 0 がこれを受光して ハ。ター ン緣の方向の角度検出 'を行 う ことができ る。
    [0034] 角度検出器 1 0 の詳細は第 2 図に示される。 角度 — 検出器は角度検出用の光検出素子 A , B 1 , C 1 , D 1 ， Α2 , Β 2 , C 2 , D 2 か ら成 ]J、 各素子組
    [0035] A 2 - ; B 1 , B 2 ； C 1 , C 2 ; 01 , 02 は 4 5° 置 き に同一方向に置かれる。 フ ォ ト マ ス ク 1 の ハ。 タ ー ン 1 a の縁の 1 部を通過する光が角度検出器 1 0 に受 入れ られ、 ハ。タ ー ン縁の方向が 0°である場合にはハ。 タ ー ン縁方向が 0°であ る こ とをあ らわす出力信号
    [0036] 1 0 1 Aが素子組 A t , A 2 力 ら得られる。 同様にハ。 タ ー ン緣方向が 4 5°方向である場合は B i , B 2 素 子か ら、 ハ。ター ン縁信号^ 9 0°方向である場合は
    [0037] C 1 , C 2 素子か ら、 ハ。ター ン縁信号が 1 3 5。方向 である場合は D i , D 2 素子から、 それぞれハ。ター
    [0038] ΟΜΡΙ
    [0039] 雷。 ン縁方向が 4 5° , 9 0° , 1 3 5°であるこ とをあ らわ す出力信号 10 1 B , 1 0 1 C , 10 1 D が得られる。 — 第 2 に、 ハ。タ ー ン に ける光透過を検出するプ ロ セ ス を記述する。 光検出位置 1 0 の中心には光検出 素子 9 が配置され集光レンズ 8 を通って中心に収束 される レ 一ザ ビー ムを受入れる。 光検出器 9 は出力 信号 9 1 を発生し、 該出 信号はフ ォ ト マ ス ク の 1 部を透過した後の光の強さをあ らわす。 それに よ ]9、 該出力信号は フ ォ ト マ ス ク 1 の当該部分の光透過度 をあ らわす。 、 第 3 に、 前述の よ う に して得られたハ。タ ーン縁の 角度検出信号 1 01 A , 1 0 1 B , 1 01 C , 1 0 1 D と 。ター ン透過度検出信号 9 1 とを記憶する ° ロ セ ス を.記述する。 A 1 A 2 素子からの出力 10 1 Aはハ°タ ン角度検出回路 1 1 の 2 値化用コ ン ハ0レ一 タ 111 に入力され、 出力信号 1 0 1 Aの値に従って 「 1 」 か 「 0 」 かの 2値化信号を発生する。 該コ ン パ レータ 1 1 1 の出力はメ モ リ 装置 1 2 の メ モ リ 回路 1 2 1 に記憶される。 同様に信号 10 1 Bを受ける コ ンハ0レ — タ 1 1 2 の 2 値化出力信号はメ モ リ 回路 1 2 2 ヽ 信号 10 1 Cを受ける コ ン ハ0 レ ータ 1 1 3 の 2 値化出 力信号は メ モ リ 回路 1 2 3 に、 信号 1 0 1 Dを受ける コ ン レー タ 1 1 4 の 2·値化出力信号はメ モ リ 回路 1 2 4 に、 それぞれ記憶される。 ま た、 光検出器 9 の出力信号 9 1 はコ ン ハ。 レ ータ 1 1 5 に印加され出 力信号 .9 1 の値に従って.「 1.」 か 「 0 」·の 2 値化信 号を発生する。 光透過 （透明 ） ま たは光阻止 （ 黒 ） に対応する コ ン ハ。 レ一タ 1 1 5 の 2値化出力信号は メ モ リ 装置 1 2 の メ モ リ 回路 1 2 5 に記憶される 。
    [0040] メ モ リ 回路 1 2 1 , 1 2 2 , 1 2 3 ， 1 2 4 ， 1 2 5 は いずれも シ フ ト レ ク スタカ ら成る。
    [0041] 最後に、 ハ。.タ ー ン幅測長およ びハ。タ ー ン欠陥検出 の _過程を説明する。 ハ。ター ン幅測長回路 1 3 の詳細 は第 3 図に示される。 フ ォ ト マ ス ク 1 における ラ ン ド部分 l a l よ び走査方向に対 し 4 5°方向に走る リ — ド部分 l a 2よ ] 成るハ0ター ン 1 a の例が第 4 図に 示される 。 メ モ リ 装置 1 2 の メ モ リ 回路 1 2 1 ，
    [0042] 1 2 2 , 1 2 3 ， およ び 1 2 5における第 4 図のハ。ター. ン l .a についての 1 組の メ モ リ 状態 1 21 M ， 1 2 2 M , 1 2 '3 M , お よ び 1 25 Mが第 5図に示される。
    [0043] 第 5 図において、 0°方向ハ。タ ー ン縁信号をあ らゎ す信号 1 0 1 Aのため p メ モ リ 回路 1 2 1の状態 121M、 4 5°方向ハ。タ ー ン緣をぁ らわす信号 1 01 Bのための メ モ リ 回路 1 2 2 の状態 1 221^、 9 0°方向ハ。タ 一 ン. 緣をあ らわす信号 1 0 1 Cのためのメ モ リ 回路 1 2 3 の状態 1 23 M、 お よびハ。ターン_透過度をあ らわす信 号 9 1 のための メ モ リ 回路 1 2 5 の状態 1 25Mが示 される。 第 4 図のハ°ター ン 1 a には 1 3 5°方向の緣
    [0044] ΟΜΡΙ が存在しないので、 第 5 図においてはメ モ リ 回路
    [0045] 1 2 4 の メ モ リ 状態は示されてい い。
    [0046] ハ。ターン幅測長回路 1 3 において、 第 4 図に示さ れる リ ー ド部分 1 a 2の幅の測定は下記の よ う に行わ れる。 1 22Mに示される よ う ¾、 4 5°方向ハ。ターン 緣信号について メ モ リ 回路 1 2 2 の セ ルに記億され る情報は、 kn か ら への点線で示される 1 3 5°方 向に読取 られ、 該読取 られた情報は.シ フ ト レ ジス タ 1 4 に記憶される。 読取 ] 方向はハ。タ 一 ン縁の方向 に対し直角方向である。 一方、 1 25Mに示される よ う な、 光透過度について メ モ リ 回路 1 2 5 の セ ルに 記憶される情報は、 n から ！ への点線で示される 方向であ って knか ら への方向と同 じ方向に読取 られ、 該読取 られた情報は シ フ ト レ ジスタ 1 5 に記 憶される。
    [0047] シ フ ト レ ジス タ 1 4 における記憶された情報の存 在はオア回路 1 6 に よ ] 検出され、 該才ァ回路はシ フ ト レ ジス タ 1 4 の素子から並列に信号を受入れる c シ フ ト レ ジス タ 1 5 に記憶される ビ ッ ト 「 1 」 の数 は ビ ッ ト 加算回路 1 7 に よ ])検出され、 該ビ ッ ト加. 算回路はシ フ ト レ 'クス タ 1 5 素子か ら並列に信号 を受入れる。 ビ ッ ト 加算回路 1 7の出力はハ。ター ン 線幅を示すも ので、 この値はディ ジ タ ル ウ イ ン ド ウ コ ン ハ0 レ一 タ 1 8 に入力され、 予め設定されている
    [0048] O PI WIPO ハ。ター ン幅の最大値およびハ。ター ン幅の最小値 と比 較されて、 測定された線幅が許容範囲内にあるか否 かチ ェ ッ ク される 。 ディ ヅ タ ノレ ウ ィ ン ド ウ コ ン ハ0 レ — タ 1 8 の出力 と オア回路 1 6 の出力はア ン ドゲー ト 1 9 に印加される。 も しオア回路 1 6 の出力がハ。 タ ー ン縁の存在をあ らわす信号であ ] 、 かつ、 ウ イ ン ドウ コ ン ハ。 レ 一タ 1 8 の出力が測定されたハ0タ一 ン線幅が該予め設定された最大値最小値間の領域.外 である こ と あ らわす信号である と、 ハ0ター ン にお ける欠陥の存在をあ らわすエ ラ一信号がア ン ト：ゲー ト 1 9カゝ ら発生する。 こ の発生された出力は、 ハ° タ — ン欠陥情報記憶用の メ モ リ 2 0 の対応ァ ド、-レ ス に - 書込ま れる。
    [0049] 同様に、 knか ら への方向に隣接しそれと平行 kn+1 か ら kn+ /への方向における情報の読出 しお よ び n か ら ! /への方向に隣接しそれと平行な ^n+1 か ら への方向における情報の読出しが行われ、 そ.れに よ ]3 ^n+1 か ら An+1'への方向におけるハ°ター ン - 幅が測定される。 同様に、 9 0°方向における ハ。タ 一 ン幅の測定がメ モ リ 回路 1 2 1 Mおよび 1 25 Mによ て行われ、 0°方向における ハ。タ ー ン幅の測定がメ モ リ 回路 123 Mお よび 1 25Mによって行われる。
    [0050] 本発明の変形実施例が第 6 図 ¾い し第 1 0 図に説 明さ.れる。 第 6 図には、 ハ。タ ーン縁の一部が欠落 している場 合におけるハ。ター ン緣信号補間回路 P が説明される 回路 P は第 1 、 2 図に示される よ う にコ ン ハ0レ一 タ 1 1 と メ モ リ 装置 1 2 の間に接続される。 第 6 図の ハ。 タ ー ン p(a)の一部分 Tが欠けた場合には、 部分で の 0°方向 ターン緣信号の一部が欠落するため対向ハ。 タ 一ン緣信号が無 く な ] 、 そのために、 部分 T のハ。 タ ーン幅の測長が不可能と な る。 この間題を解決す る ために、 第 6 図に示すよ うな、 欠落したハ。ターン 緣信号を補間する回路 P が設け られる。
    [0051] 回路 P は、 各 ラ イ ン L 。 ビ ッ ト を有する ラ イ ン N 個を有する第 1 の シ フ ト レ ス タ p(b)、 各ライ ンに ( Li +L2 ) ビ ッ トを有する ラ イ ン （N— 1 )個を有す る第 2 の シ フ ト レ ジス タ p ( 、 および、 ビ ッ ト補間回 路 p(d)を具備する。
    [0052] 回路 P において、 被検査ハ0ターン p(a)の走査によ ！） 発生したハ0タ ー ン緣信号の—違はシフ ト レ スタ P(b) の第 1 ラ イ ンに入力され、 ラ イ ン に沿って順次シ フ ト させられる。 シ フ ト レ ジス タ p(b)の出力はシフ ト レ ジ ス タ p(c)の第 1 ライ ン に入力される。 シ フ ト レ ジス タ P(c)の第 n ラ イ ンの出力を シフ ト レ'クスタ p(b)の第
    [0053] ( n+ 1 ) ラ イ ンに入力する 。 シフ ト レジス タ p(b) の第
    [0054] N ラ イ ン の出力信号の一連は、 ハ0ター ン緣信号記憶 用のメ モ リ 装置 1 2 に順次入力される。 シ フ ト レ ジ スタ p (b)に順次信号が入力される と、 或 る時点で シ フ ト レ ジ ス タ p(b)の t点に信号が現われ、 その と き に或 る距離を も った u ， マ , w点に縁信号 が 1 個でも あればオア ゲー ト p((¾lが出力を生 じ、 つ いで ア ン ドゲ一 ト p (d) 2が出力を生じ、' それによ 1) ビ ッ ト 補間回路 ！) (d)のシ フ ト レ ジ ス タ p (d)-3 に信号「 1 」 が入力される 。 シ フ ト レ ジ ス タ p(d)3 に記憶されたデ ータ （ X I , X 2 , …… x n )は並列にノ ア ゲ一 ト p (d) 4 に供給される 。 該 ノ アゲ o 1 ー ト は、 シ フ ト レ ヅ ス タ p(d) 3 に少く とも 1 個の 「 1 o 1」力；存在する と、 信号「0」 o o
    [0055] を出力する 。 それに よ ] 、 ナ ン ドゲー ト P(c)lは、 セ ル V の信号が 「 1 」のときは信号 「 1 」を、 セ ル V の信 号が 「 0 」 の と き は信号 「 0 」 を発生する 。 それに よ ]3 、 セ ル V の デ ー タ 力 変換さ れる 。 セ ル u , V ， お よび w と変換されたセ ル V のデー タ の関係は下記の 表に示される 。
    [0056] 0 0 0 0 0 0
    [0057] U ， V ， W一の識理和 0 0 0 0
    [0058] X，二-. χπ の論理和 0 0 0 0 p(d) 4の出力 0 0 0 0 0 0
    [0059] Y 0 0 0 0 変換された V 0 1 0
    [0060] O PI この よ う に してパタ 一 ン p (a)に ける欠陥部分 T の 縁の欠落部分の補間が行われる 。 この よ う に して補 間された信号をふ く むシ フ ト レ ジ ス タ p(b)の出力信号 の 一連はメ モ リ 装置 1 2 に供給されそこに記憶され る 。 欠陥を有するパタ ー ン の幅の測定はこのメ モ リ 装置 1 2 に記憶された情報の助けをか ] て行われる 第 7 図に、 パ タ ー ンを光ビ ー ム で走査して得た信 号において、 信号 「 1」を光透過信号、 光阻止信号の ずれか選択される方に対応させるための、 パター ンデータ切換回路 Q が説明 される 。 ポ ジ フ. イ ル ム 1 (POS) のパタ ー ン （PAT) 測長またはネ ガフ ィ ル 厶 1 (NEG) のパタ ー ン間ギ ヤ ッ プ （G) 測長の場合は切換 回路 Q の qi 入力を 「 l 」、 q2 入力を 「 0 」 と する 。 こ の場合には被検査パ ター ン の黒白 2 値化信号がその ま ま メ モ リ 1 2 に記憶される 。 これに反 し、 ポ ジ フ ル ム 1 (POS) の.ギ ヤ ッ プ (G) 測長ま たはネ ガ フ ィ ル ム 1 ( EG) のパタ ー ン （PAT) 測長の場合は切換回 路 Q の 入力を 「 0 」 、 q2 入力を 「 1」 とする 。 こ の場合には被検査パ タ ー ン の黒白 2 値化信号が前述 の場合に対 し反転 して メ モ リ に記憶される 。
    [0061] 第 9 図にパ タ ー ンを縮少 して記憶する装置 II が示 される 。 装置 R は第 8 図に示す よ う にコ ン パ レータ 1 1 と メ モ リ 装置 1 2'の間に接続される 。 縮少され たパタ ー ンを記憶する装置 R は、 各ラ イ ン に m ビ ッ
    [0062] O : ト を有する N個の ラ ィ ンを有するパタ ーンデータ メ モ リ 回路 R 1 、 加算回路 R 2 、 3 X 4 ビ ッ ト を有す る シ フ ト レ ジ ス タ R 3 、 他の加算回路 R 4 、 および コ ン パ レ ー タ R 5 を具備する。 シ フ ト レ ジ ス タ R 1 にお ては、 n 番目 の ラ イ ン の出力は （ n+1 ) 番目 の ラ イ ン の入力に供給される 。 装置 R の動作は、 例 えば、 パタ ー ンデ一タ メ モ リ R 1 の左上部の 4 X 4 ビ ッ ト 部分 R 1.1について説明される。 R 11の各ラ イ ンの第 1 ビ ッ ト に記憶さ れている信号 , r2 , r3 r4 は加算回路 R 2 に送 られ、 該加算回路は信号 Π ， r2 , r3 , r4 の和を あ らわす 3 ビ ッ ト の出力信号を 発生する。.加算回路 R 2 の出力信号は シ フ ト レ 'ノ ス タ R 3 の第 1 ラ イ ン に供給され、 シ フ ト レ ジ ス タ R 3 に順次記憶される 。 シ フ ト レ ジ ス タ E 3 の出力 信号の一連は加算回路 4 に供給され、 該加算回路は シ フ ト レ ジ ス タ R 3 の一連の出 力信号の和をあ らわ す出力信号を発生する 。 加算回路 4 の出力信号は 4 X 4 ビ ッ ト の部分 R 11 における信号「 1.」の数をあ ら わす。 こ の出力信号と数 8 を あ らわす基犟信号
    [0063] (REF) とがコ ン パ レータ R 5 に供給される。 コ ン ノ レ 一 タ R 5 は加算回路 R 4 の出力信号が 8 ¾上のと き 出力信号 「 1」を発生する 。 こ の場合には、 部分 R 1 1 の平均信号は信号 「 1 」 である とみるされる。 これに反し、 加算回路 R 4 の出力信号が 7以下の場 合にはコ ン パ レー タ β 5 は出力信号 「 0」を発生する この場合 は、 部分 R 1 1.の平均信号は信号 「 0 」 で あ る とみな される。 この 「 1 」 か 「 0」 かの出力信号 は縮少パ タ ー ンデー タ 用の メ モ リ装置 1 2'の第 1 ラ ィ ンの第 1 ' ビ ッ ト に位置する セ ル に供給されて 記憶される。 この よ う に して、 メ モ リ 回路 i l の部 分 it 1 1の平均信号がメ モ リ 装置 1 2^の セ ル R 1 1'の信 号に よ っ てあ らわされる。 これによ 、 パタ ー ン の 記憶された情報の 1 6 対 1 の比率に よ る縮少が遂行 される 。
    [0064] 第 1 0 図には、 黒点および ピ ン ホ ー ル除去回路 S が示される 。 回路 S は、 3 X 3 ビ ッ ト の シ フ ト レ ジ ス タ S 1 、 3 ラ イ ン の シ フ ト レ ジ ス タ S 2 、 ア ン ド ゲー ト S 3 、 オ ア ゲ ー ト S 4 、 才 ァ ゲー ト S 5 、 ァ ン ドゲー ト S 6 お よびフ リ ッ プフ ロ ッ プ回路 S 7 を 具備する。 コ ン パ レー タ 1 1 か らのデータ はシ フ ト レ ジ ス タ S 1 の第 1 ラ ィ ン に入力されラ イ ン の方向 に順次シ フ ト される 。 シ フ ト レ ジ ス タ S 1 の中心 ビ ッ ト に記憶される信号 X が フ ォ ト マ ス ク の光透過部 分における光阻止黒点をあ らわす信号であるか、 フ ォ ト マ ス ク の光阻止部分における光透過 ピ ン ホ ー ル をあ らわす信号である-かを判断するために、 信号 X の ビ ッ ト を包囲する 8個の ビ ッ ト に記憶きれる 8 個 の伯" > a 2 , a 3 > 3 4 > a 5 , a β > a 7 ， および a s
    [0065] O PI
    [0066] V/IPO 力 チ ヱ ッ ク される。
    [0067] . 信号 a い レ a8 がすべて信号 「 1 」である場合に は、 ア ン ドゲー ト S 3 およびオア ゲー ト S 4 の各出 力は出力信号「 1 」を発生し、 ア ン ドゲー ト S 6 は出 力信号「 1 」を発生し、 それによ ]3 フ リ ッ プ フ ロ ッ プ 回路 S 7 は状態 「 1 」にセ ッ トされる。 フ リ ツ プ フ 口 ッ プ回路 S 7 の出力信号 「 1 」は 1 ビ ッ ト の タ イ ミ ン グ時間の後に シ フ ト レ ジ ス タ S 2 の第 2 ラ イ ン の第 1 ビ ッ ト に供給される 。 それに よ 、 信号 Xが信号 「 0 」 であ って も 、 こ の信号 「 0 」 は信号「 1丄に反転. されてシ フ ト レ ジ ス タ S 2 の第 2 ラ イ ン に送 られる この よ う に して、 ピ ン ホ ー ル の除去が遂行される。
    [0068] 信号 ai ない し a8 がすべて信号 「0」である場合に は、 ア ン ドゲー ト S 3 およびオア ゲー ト S 4 の各出 力は出力信号「 0」を発生し、 ア ン ドゲー ト S 6 は出 力信号 「 0 」を発生し、 それによ ] フ リ ッ プ フ ロ ッ プ 回路 S 7 は状態「 0 」にセ ッ ト される 。 フ リ ッ プ フ π ッ プ回路 S 7 の出力信号 「 0」は 1 ビ ッ ト の タ イ ミ ン グ時間の後にシ フ ト レ ジ ス タ S 2 の第 2 ラ ィ ンの第 1 ビ ッ ト に供給される 。 それに よ ] 、 信号 Xが信号 「 1 」であって も 、 この信号 「 1 」 は信号 「0 」に反転 されてシ フ ト レ ジ ス タ S 2 の第 2 ラ イ ン に送 られる この よ う に して、 黒点の除去が遂行される 。'
    [0069] 信号 a i い し a8 が信号「 1 」 と信号 「 0 」 の両者
    [0070] OMPI
    [0071] if WIPO « を含む場合には、 ア ン ドゲー ト S 3 は出力信号 「0」 を発生 しオアゲー ト S 4 は出力信号 「 1 」を発生する つ で、 ア ン ドゲー ト S 6 は信号 X と同 じ信号を発 生する。 それに よ ]) 、 フ リ ッ プ フ 口 ッ プ S 7 は信号 X と同 じ状態にセ ッ ト される。 それゆえ、 信号 Xが 反転される こ と な く そのま ま シ フ ト レ ジ ス タ S 2 の 第 2 ラ イ ンに送 られる 。 この こ と は、 信号 X が ビン ホ ー ル 、 黒点のいずれと も判断されなかったこ とを 味する o
    [0072] OMPI
    [0073] V/IPO
    权利要求:
    Claims 請 求 の 範 西
    1. ハ。タ ー ンの状態に関する情報が光に よ るハ°タ — ンの走査によ って得 られてメ モ リ 装置に記憶され、 該メ モ 装置に記憶された情報の読み出 しによ っ て 検査が行われる 、 基板上に形成されたハ。タ ー ンを検 査するハ。 タ ー ン検査方式におい て、 該ハ。 タ ー ン検査 方式がハ。 タ ー ンの状態を複数の方向に分離して検出 する手段、 ハ。ター ンの状態を複数の方向に分離して 記憶する複数のメ モ リ ュ ニ ッ ト を有する メ モ リ 装置、 および、 ハ0タ ー ン の幅を該ハ0 ー ン の方向に-垂直な 方向において測定する手段を具備し、 該ハ。 タ ー ンの 情報は該複数の メ モ リ ュ ニ ッ ト に分離して記億され てい る と を特徴とするハ。ター ン検査方式。
    2. 請求の範囲第 1 項記載のハ。タ ー ン検査方式が さ らに、 補間手段を具備し、 それに よ ]) 、 ハ。タ ー ン 縁の検出信号の 1 部がハ。ター ン緣の所定の長さ以内で 欠落している場合に メ モ リ 装置に記憶された情報が 変更させられる こ と を特徵とする.ハ°タ ー ン検査方式。
    3. 請求の範囲第 1 項または第 2項記載のハ°タ ー ン検査方式がさ らに、 ス ィ ツ チン グ手段を具備し、 それに よ ] 9 、 ハ。 タ ー ン の光透過または光阻止をあ ら わす 2値化信号が反転可能にされている こ とを特徵 とするハ。タ ー ン検査方式。 .
    4. 請求の範囲第 1 項ま たは第 2項記載のハ。タ 一
    O PI 麵 ン検査方式がさ らに.、 縮少手段を具備し、 それによ 、 メ モ リ 回路に記憶さ.れたパタ ー ン情報が.縮少さ れ、 該縮少されたパター ン情報を記憶するための他 の記億回路に記憶されるこ と を特徵とするパター ン 検査方式。
    5. 請求の範囲第 1 項ま たは第 2 項記載のパタ ー ン検査方.式がさ らに、 黒点およ び ピ ン ホ ー ル除去手 段を具備 し、 それによ 光阻止黒点お.よび光透過 ピ ン ホ 一 ル をあ らわす信号がメ モ リ 装.置への パ タ ー ン 信号の供給に先立って除去される こ と を特徵とする 'タ ー ン検査方式。
    OMP WIPO
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
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    ES485536A1|1980-05-16|
    引用文献:
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    JPS4934385A|1972-07-28|1974-03-29|||
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    法律状态:
    1980-05-15| AK| Designated states|Designated state(s): DE US |
    1980-12-18| RET| De translation (de og part 6b)|Ref country code: DE Ref document number: 2953303 Date of ref document: 19801218 Format of ref document f/p: P |
    优先权:
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